臺基半導(dǎo)體股份有限公司高純水系統(tǒng)采用雙級反滲透+混合床+拋光混合床工藝，產(chǎn)水電阻率18MΩ·CM以上，全不銹鋼拋光設(shè)備，產(chǎn)水量40m3/h。現(xiàn)場設(shè)備運行圖片如下：

預(yù)處理及反滲透設(shè)備

預(yù)處理工藝為砂濾器+炭濾器+軟化器

軟化器及再生裝置

雙級反滲透設(shè)備，全觸摸屏自動控制

后處理為混合床+拋光混床組

高純水電阻率大于18MΩ·CM