臺(tái)基半導(dǎo)體股份有限公司高純水系統(tǒng)采用雙級(jí)反滲透+混合床+拋光混合床工藝,產(chǎn)水電阻率18MΩ·CM以上,全不銹鋼拋光設(shè)備,產(chǎn)水量40m3/h。現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備運(yùn)行圖片如下:
預(yù)處理及反滲透設(shè)備
預(yù)處理工藝為砂濾器+炭濾器+軟化器
軟化器及再生裝置
雙級(jí)反滲透設(shè)備,全觸摸屏自動(dòng)控制
后處理為混合床+拋光混床組
高純水電阻率大于18MΩ·CM